05.04.2022

Мы получаем доступ к современной инфраструктуре и техническим ресурсам, а также можем привлекать инвестиции и экспертную поддержку. Работа в технопарке позволяет нам активно взаимодействовать с другими инновационными компаниями и находить новые партнерства для совместной разработки и внедрения технологий.

Инновационная установка плазменной обработки материалов, представленная резидентом технопарка «Полюс», обладает широким спектром применения в высокотехнологичных отраслях. Она может использоваться в фотонике, интегральной оптике, биомедицине и других областях. Главная задача установки - удалять загрязнения, модифицировать или активировать поверхности высокотехнологичных изделий без их повреждения.

Установка состоит из рабочей камеры с двумя электродами, между которыми формируется плазма под напряжением в среде разреженного газа. Под воздействием плазмы меняется состояние поверхностного слоя изделий, при этом свойства материалов не нарушаются. Процесс осуществляется с помощью генерации ионов инертного или химически активного газа, которые взаимодействуют с атомами поверхностного слоя изделия. В зависимости от типа генератора плазмы, ионы могут иметь разную концентрацию и энергию, что позволяет воздействовать на обрабатываемую поверхность по-разному.

Особенностью разработанной установки является использование двуполярного импульсного генератора для производства плазмы. Он создает короткие и частые импульсы, что позволяет увеличить концентрацию ионов. Для обработки чувствительных полупроводниковых и квантовых структур без повышения температуры изделия на электроды подается отрицательное напряжение. Благодаря новому способу генерации плазмы температура в рабочей камере установки снижается до 50 градусов по Цельсию.

Инновационное оборудование может быть использовано для очистки от органических загрязнений изделий из керамики, используемых в микроэлектронной промышленности. Также установка позволяет проводить процесс травления металлизированных плат и готовить поверхности изделий к нанесению различных покрытий, что способствует повышению прочности сцепления.

Идея создания такого оборудования возникла при сотрудничестве МГТУ имени Н.Э. Баумана и компании-разработчика. Совместная работа позволила компании пройти конкурсный отбор и стать резидентом инновационного центра «Сколково». Разработка не имеет мировых аналогов и находится на стадии испытаний.

Компания-разработчик уже более пяти лет является резидентом технопарка «Полюс», что позволяет ей получать преференции и меры поддержки для развития. Они активно демонстрируют преимущества своей разработки на российском и международном рынках.

Источник Ссылка